Tehnologija cevovodov z visoko čistočo je pomemben del sistema za oskrbo z visoko čistočijo, ki je ključna tehnologija za dostavo potrebnega plinskega plina do točke uporabe in še vedno ohranjanje kvalificirane kakovosti; Tehnologija cevovodov z visoko čistočo vključuje pravilno zasnovo sistema, izbiro okov in dodatkov, konstrukcijo in namestitev ter testiranje. V zadnjih letih so vse bolj stroge zahteve glede čistosti in vsebnosti nečistoče v plini z visoko čistostjo pri proizvodnji mikroelektronskih izdelkov, ki jih predstavljajo obsežna integrirana vezja, tehnologijo cevovodov z visoko čistočo plinov vse bolj nanašajo in poudarjale. Sledi kratek pregled cevovodov plinov z visoko čistočo iz izbire materialaof gradnja, pa tudi sprejemanje in vsakodnevno upravljanje.
Vrste skupnih plinov
Razvrstitev skupnih plinov v elektronski industriji：
Skupni plini（Razsuti plin）: vodik (h2), dušik (n2), kisik (o2), argon (a2) itd.
Posebni pliniso sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,POCL3, Sih2cl2 SIHCL3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,CLF3 ,Co,C2F6, N2o,F2,Hf,Hbr Sf6…… itd.
Vrste posebnih plinov lahko na splošno razvrstimo kot jedkoplin, strupenoplin, vnetljivoplin, gorljivoplin, inertenplin, itd. Pogosto uporabljeni polprevodniški plini so na splošno razvrščeni na naslednji način.
(i) jedko / strupenoplin: Hcl, bf3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, Nh3, Ph3, Cl2, Bcl3… Itd.
(ii) Vnetljivostplin: H2, Pogl4, Sih4, Ph3, Ash3, sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Pogl3F, co… itd.
(iii) Vnetljivostplin: O2, Cl2, N2O, nf3… Itd.
(iv) inertnaplin: N2, Prim4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, Ne, Kr, on ... itd.
Številni polprevodniški plini so škodljivi za človeško telo. Zlasti nekateri od teh plinov, kot je SIH4 spontano zgorevanje, dokler bo puščanje silovito reagiralo s kisikom v zraku in začelo goreti; in pepel3Zelo strupeno, vsako rahlo uhajanje lahko povzroči tveganje za človeško življenje, to je zaradi teh očitnih nevarnosti, zato so zahteve za varnost zasnove sistema še posebej velike.
Uporaba obsega plinov
Kot pomembno osnovno surovino sodobne industrije se plinski proizvodi pogosto uporabljajo, veliko število skupnih plinov ali posebnih plinov pa se uporablja v metalurgiji, jeklu, nafti, kemični industriji, strojih, elektroniki, steklu, keramiki, gradbeni materiali, gradnji, predelavi hrane, medicine in medicinskih sektorjev. Uporaba plina ima pomemben vpliv na visoko tehnologijo teh polj in je njen nepogrešljiv plin za surovine ali procesni plin. Samo s potrebami in promocijo različnih novih industrijskih sektorjev ter sodobne znanosti in tehnologije lahko izdelke s plinsko industrijo razvijejo skoki in meji v smislu raznolikosti, kakovosti in količine.
Uporaba plina v industriji mikroelektronike in polprevodnikov
Uporaba plina je vedno igrala pomembno vlogo v polprevodniškem procesu, zlasti polprevodniški proces se je pogosto uporabljal v različnih panogah, od tradicionalne ULSI, TFT-LCD do sedanje mikroelektro-mehanske (MEMS) industrije, ki uporabljajo tako imenovani proces proizvoda kot proizvodni proces. Čistost plina odločilno vpliva na uspešnost komponent in donosa izdelkov, varnost oskrbe s plinom pa je povezana z zdravjem osebja in varnostjo obratovanja.
Pomen cevovodov visoke čistosti pri prevozu s plinom z visoko čistočo
V procesu taljenja in izdelave materiala iz nerjavečega jekla se lahko absorbira približno 200 g plina na tono. Po predelavi nerjavečega jekla je ne le površinsko lepljivo z različnimi onesnaževalci, ampak tudi v svoji kovinski rešetki je absorbiral tudi določeno količino plina. Ko je skozi cevovod pretok zraka, bo kovina absorbira ta del plina ponovno vstopi v pretok zraka in onesnažil čisti plin. Ko je pretok zraka v cevi prekinjen pretok, cev adsorbira plin pod pritiskom, in ko se pretok zraka preneha prehajati, plin, adsorbiran s cevjo, tvori padec tlaka, da se razreši, in rešeni plin vstopi tudi v čisti plin v cevi kot nečistoče. Hkrati se adsorpcija in ločljivost ponavljata, tako da kovina na notranji površini cevi proizvede tudi določeno količino praška, ta delci kovinskega prahu pa onesnažujejo tudi čisti plin znotraj cevi. Ta značilnost cevi je bistvenega pomena za zagotovitev čistosti prevoženega plina, ki ne zahteva le zelo visoke gladkosti notranje površine cevi, temveč tudi visoko odpornost proti obrabi.
Ko se uporablja plin z močnimi korozivnimi lastnostmi, je treba za cevovodi uporabiti cevi iz nerjavečega jekla, odporne proti koroziji. V nasprotnem primeru bo cev proizvajala korozijske lise na notranji površini zaradi korozije, v resnih primerih pa bo veliko površine odstranjevanja kovin ali celo perforacije, ki bo onesnažilo čisti plin, ki ga je treba porazdeliti.
Povezava cevovodov za prenos in distribucijo plinovodov z visoko čistočo in visoko čiščenje velikih hitrosti pretoka.
Načeloma so vsi varjeni, uporabljene cevi pa morajo pri uporabi varjenja spremeniti organizacijo. Materiale z previsoko vsebnostjo ogljika so podvržene prepustnosti varjenih delov pri varjenju, zaradi česar je medsebojni prodor plinov znotraj in zunaj cevi ter uničuje čistost, suhost in čistočo prenesenega plina, kar ima za posledico izgubo vseh naših prizadevanj.
Če povzamemo, je za cevovod za prenos plinov z visoko čistostjo in posebno plino uporabljati posebno obdelavo cevi iz nerjavečega jekla z visoko čistostjo, za izdelavo sistema cevovodov z visoko čistostjo (vključno s cevmi, okovjem, ventili, VMB, VMP) v porazdelitvi plina z visoko čistočo zaseda ključno misijo.
Splošni koncept čiste tehnologije za prenos in distribucijo cevovodov
Zelo čist in čist prenos plina s cevovodi pomeni, da obstajajo določene zahteve ali kontrole za tri vidike plina.
Čistost plina: Vsebnost nečistoče v čistosti GGAS: vsebnost nečistoče atmosfere v plinu, običajno izražena kot odstotek čistosti plina, kot je 99,9999%, izraženo tudi kot količino razmerja nečistoče vsebnost Atmosphere PPM, ppb, ppt.
Suhost: količina vlage v sledovih v plinu ali količina, imenovana vlažnost, običajno izražena v točki rosi, kot je točka rosa atmosferskega tlaka -70. C.
Čistost: Število onesnaževalnih delcev, ki jih vsebuje plin, velikost delcev µm, koliko delcev/m3 izraziti za stisnjen zrak, običajno izraženo tudi glede na to, koliko mg/m3 neizogibnih trdnih ostankov, ki pokriva vsebnost olja.
Klasifikacija velikosti onesnaževal: Delci onesnaževal, v glavnem se nanašajo na čiščenje cevovodov, obrabo, korozijo, ki jo ustvarjajo kovinski delci, atmosferski delci saje, pa tudi mikroorganizmi, fagi in kapljice kondenzacije plina, ki vsebujejo vlago, glede na velikost velikosti njegovega delca je razdeljeno na
a) veliki delci - velikost delcev nad 5 μm
b) Premer materiala med 0,1 μm-5 μm
c) Ultra-mikro delci-velikost delcev manjša od 0,1 μm.
Za izboljšanje uporabe te tehnologije, za zaznavno razumevanje velikosti delcev in μm enot je za referenco zagotovljen niz specifičnega stanja delcev
Sledi primerjava določenih delcev
| Ime /velikost delcev (µm) | Ime /velikost delcev (µm) | Ime/ velikost delcev (µm) |
| Virus 0,003-0,0 | Aerosol 0,03-1 | Aerosoliziran mikrodroplet 1-12 |
| Jedrsko gorivo 0,01-0,1 | Barva 0,1-6 | Leteči pepel 1-200 |
| Ogljikova črna 0,01-0,3 | Mlečni prah 0,1-10 | Pesticid 5-10 |
| Smola 0,01-1 | Bakterije 0,3-30 | Cementni prah 5-100 |
| Cigaretni dim 0,01-1 | Peščeni prah 0,5-5 | Cvetni prah 10-15 |
| Silikon 0,02-0,1 | Pesticid 0,5-10 | Človeški lasje 50-120 |
| Kristalizirana sol 0,03-0,5 | Koncentriran žveplov prah 1-11 | Morski pesek 100-1200 |
Čas objave: junij 14-2022