Proces proizvodnje elektronskih specialnih plinov vključuje več procesov, kot so sinteza, čiščenje, polnjenje, analiza in testiranje, mešanje in delež. Da bi izpolnili zahteve za izdelavo polprevodnikov na nižji stopnji za čistost in vsebnost nečistoč, je postopek čiščenja zelo pomemben. Odvisno od sestave plina ali surovega plina na zgornjem toku, se izvede nizka temperaturna destilacija ali večstopenjsko čiščenje.
Zahteve po visoki čistosti
Postopek priprave elektronskih posebnih plinov lahko razdelimo na dva glavna bloka pripravka in čiščenja sinteze navzgor, ki spada v proces kemične proizvodnje. Velikost proizvodnega cevovoda je velika in ni posebne potrebe po ravni čistoče. Po čiščenju na nižji stopnji izdelek napolnimo s plinom in mešamo za pripravo. Proizvodni cevovod je majhen in ima potrebe po čistosti. Izpolniti mora standardna specifikacija procesa izdelave polprevodnikov.
Visoke zahteve za tesnjenje
Zaradi svoje kemijske aktivnosti elektronski specialni plini postavljajo tudi velike potrebe po materialih in tesnjenju proizvodnega procesnega sistema. Tako kot zahteve za proizvodnjo polprevodnikov preprečuje uhajanje vmesnikov, ki jih povzroča uvedba nečistoč ali korozija posebnih plinov. Sistem se lahko uporablja tudi za preprečevanje uvedbe nečistoč ali puščanja vmesnika, ki ga povzroča korozija posebnih plinov.
Visokokakovostne zahteve glede stabilnosti
Kakovost elektronskih specialnih plinov vključuje številne kazalnike, kot so vsebnost čistosti in nečistoče. Vsaka sprememba kazalnikov bo vplivala na rezultate procesa proizvodnje polprevodnikov na nižji stopnji. Zato je zelo pomemben tudi za doslednost kazalnikov elektronskih kazalnikov posebnega plina za nadzor stabilnosti kazalnikov za nadzor stabilnosti kazalnikov.
Zaradi kemijske aktivnosti in zahtev glede kakovosti EGP mora proizvodni sistem za pripravo EGP, zlasti sistem za čiščenje na nižji stopnji, izpolnjevati zahteve materialov z visoko čistostjo, visoko tesnjenje, visoko čistočo in visoko kakovostno doslednostjo, gradnja sestavnih delov pa mora izpolnjevati standarde proizvodne industrije polprevodnikov.
To, kar običajno imenujemo "velika čistost", je teoretično opredelitev čistosti snovi, kot so plini z visoko čistostjo, kemikalije z visoko čistostjo itd. Procesni sistemi ali komponente procesnih sistemov, ki se uporabljajo za snovi z visoko čistočo, se imenujejo tudi kot visoka čist, kot so visoke sisteme in visoke sisteme in visoke bolnike. Elektronski sistemi za pripravo specialnih plinov zahtevajo visoko opremo za uporabo, ventile in druge komponente tekočine, tj. Okovje in ventile, ki se predelajo z materiali z visoko čistostjo in čistimi proizvodnimi postopki ter so strukturirani za enostavno čiščenje in čiščenje. Z visoko zmogljivostjo tesnjenja. Te komponente tekočine so zasnovane tako, da ustrezajo procesni poti pretoka aplikacije z uporabo inženirskih in gradbenih zahtev v industriji polprevodnikov.
Cevovodne povezave z visoko čistostjo
Priključki za tesnilo za tesnilo VCR kovinske tesnila in samodejne priključke z valilnim priključkom se široko uporabljajo pri zahtevnih zahtevah čistosti tekočine zaradi sposobnosti, da se izpolnjujejo tako gladki prehod pretočne poti na priključku, brez stagnacije in visoko tesnjenje. VCR Priključke tvorijo ozko površinsko tesnilo z ekstralirano mehkim kovinskim tesnilom. Ponavljajoča in dosledna povezava in zmogljivost tesnjenja je zagotovljena vsakič, ko se deformirano tesnilo odstrani in zamenja.
Cevi so varjene s sistemom samodejnega orbitalnega varjenja. Cev je zaščitena z visoko čistostjo plina znotraj in zunaj. Volframova elektroda se vrti vzdolž orbite za kakovostno varjenje. Popolnoma avtomatizirano orbitalno varjenje stopi cev, ne da bi uvedli druge materiale, pri čemer je z ročnim varjenjem težko doseči visokokakovostno zvar z večkratnim nadzorom tankostenske cevi.
VCR kovinska tesnila priključek za tesnilo
Samodejno orbitalno varilno povezavo cevi
Ventili z visoko čistostjo
Kemična aktivnost vnetljivih, eksplozivnih, korozivnih in strupenih elektronskih specialnih plinov postavlja velike potrebe po tesnjenju ventila. Da bi izboljšali zanesljivost tesnjenja, je zahteva po pakiranju ventilov brez pakiranja, da se prepreči zunanje uhajanje, to je preklop delovanja stebla ventila in telesa ventila med tesnilom z uporabo kovinskih meh ali kovinske diafragme, da bi odpravili puščanje zaradi abrazije in pakiranja deformacije tesnila. Zapenjani ventili, zaprti z mehom, se zaradi večje zanesljivosti tesnil in lažje čiščenja in čiščenja notranjosti ventila običajno uporabljajo v procesnih sistemih za aplikacije z visoko čistostjo.
Bolni ventili so konstrukcija igelnih ventilov brez pakiranja, ki omogoča počasno odpiranje in regulacijo pretoka. Uporablja se za polnjenje elektronskega specialnega plina z zahtevami varnostnega pretoka ali na steklenicah predhodnika z visokimi varnostnimi zahtevami. Celotna tesnila za kovinske konice omogočajo izjemno nizke delovne temperature in se uporabljajo za kriogeno utekočinjenost elektronskih specialnih plinov v končnih rezervoarjih za proizvod po kriogeni destilaciji za cevovode.
Springless membranski tesnilni ventil je 1/4 ″ odprt ventil za uporabo kot samodejno nadzorovan preklopni ventil v cevovodih za dostavo. Običajno se uporabljajo v ultra-visokem tlaku, z visoko naraščajočimi aplikacijami zaradi preproste poti notranjega pretoka, majhnega notranjega volumna in enostavnosti čiščenja in zamenjave.
Diafragm zaprti ventili, ki se zaprejo prek konice stebla, se lahko počasi odprejo in se uporabljajo pri višjih delovnih tlakih kot ne-spustnih diafragminih ventilov. Široko se uporabljajo na visokotlačnem elektronskem specialnem plinskem polnjenju ali steklenicah iz vira predhodnika.
Sekundarni ventil za mehke tesnila ni mogoče uporabiti samo v sistemih za procesne temperature na ultra nizki temperaturi pri -200 stopinj, ampak tudi preprečuje uhajanje nevarnih medijev v ozračje. Običajno se uporablja za zelo nevarne elektronske posebne pline, kot je sistem za polnjenje Silane.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, z več kot 10-letnimi izkušnjami pri dobavi industrijskih in posebnih plinov, materialov, sistemov za oskrbo s plinom in plinskega inženiringa za polprevodnik, LED, DRAM, TFT-LCD trge, vam lahko zagotovimo potrebne materiale, da svoje izdelke potisnemo v ospredje industrije. Za polprevodniške elektronske specialne pline ne moremo oskrbovati le široko paleto ventilov in okovje, ampak lahko za naše stranke oblikujemo tudi plinske cevovode in namestitev opreme. Če imate kakršne koli potrebe na tem področju, nas kontaktirajte na 27919860.
Čas objave: julij-19-2023