Ko raste trg polprevodnikov, postanejo standardi za čistost in natančnost strožji. Eden od odločilnih dejavnikov kakovosti proizvodnje polprevodnikov je plini, ki se uporabljajo v postopku. Ti plini igrajo številne vloge v proizvodnem procesu, vključno z:
Nadzor natančnosti procesa
Preprečevanje kontaminacije
Izboljšanje metalurške nepremičnine
Za učinkovito izvajanje teh vlog mora biti sistem za oskrbo in distribucijo plina učinkovit. Zasnova sistemov za ravnanje s plinom, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov, morajo podpirati robustne komponente in prilagojene sklope, da se zagotovi zanesljiva in kakovostna proizvodnja polprevodnikov.
Plini, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov
Proces izdelave polprevodnikov zahteva uporabo različnih plinov v različnih fazah postopka.
Medtem ko se v svoji čisti obliki lahko uporabijo skupni plini, kot so dušik, vodik, argon in helij, lahko nekateri procesi zahtevajo specializirane mešanice. Silani ali siloksani, heksafluoridi, halogenidi in ogljikovodiki so nekaj posebnih plinov, ki se uporabljajo pri proizvodnji polprevodnikov. Mnogi od teh plinov so lahko nevarni ali zelo reaktivni, kar ustvarja izzive pri izbiri in oblikovanju komponent za plinske sisteme.
Tu je nekaj primerov:
\ Vodik in helij lahko zaradi majhne velikosti in teže atomske velikosti zlahka uhajata iz sistemov cevovodov in namestitve.
\ Silani so zelo vnetljivi in lahko spontano zgorejo (avtoignem) v zraku.
\ Dušikov difluorid, ki se uporablja v fazah odlaganja, jedkanja in čiščenja komore, postane močan toplogredni plin, ko se pušča v okolje.
\ Vodikov fluorid (plin jedkanice) je zelo jedko za kovinske cevovode.
\ Trimetilgalij in amoniak je težko obvladati - majhna nihanja v njihovih temperaturnih in tlačnih zahtevah lahko vplivajo na postopek odlaganja.
Nadzor pogojev procesa za zmanjšanje negativnih učinkov teh plinov mora biti glavna prednostna naloga med načrtovanjem sistema. Prav tako je pomembno uporabljati komponente najvišje kakovosti, kot so ventili AFK diafragme med postopkom izdelave.
Reševanje izzivov v oblikovanju sistema
Polprevodniški plini so v večini primerov visoke čistosti in zagotavljajo inertne pogoje ali izboljšajo reakcije na različnih stopnjah proizvodnega procesa, kot so jedkani in nalaganje plinov. Uhajanje ali kontaminacija takšnih plinov ima lahko negativne učinke. Zato je ključnega pomena za sistemske komponente, ki so bile hermetično zaprte in korozijske odporne, pa tudi gladko površinsko obdelavo (elektrolitsko poliranje), da se zagotovi, da ni mogoče kontaminacije in da je mogoče vzdrževati izjemno visoko raven čistoče.
Poleg tega lahko nekatere od teh plinov segrejemo ali ohladimo, da dosežemo želene pogoje procesa. Dobro izolirane komponente zagotavljajo nadzor temperature, kar je ključnega pomena za učinkovito delovanje končnega izdelka.
Od vhodnega vhoda do točke uporabe široko paleto komponent AFK podpira ultra visoko čistost, temperaturo, tlak in nadzor pretoka, ki so potrebni v polprevodniških čistih sobah in vakuumskih komorah.
Oblikovani sistemi s kakovostnimi komponentami v polprevodniških Fabs
Vloga kakovostnih komponent in optimizacije oblikovanja je ključnega pomena za natančen nadzor in varno izdelavo polprevodnikov. Uporabljene komponente morajo biti robustne in brez puščanja, da se ujemajo z različnimi pogoji procesa, ki so potrebni v različnih fazah proizvodnje. AAFK-ove kakovostne ventile, okovje, regulatorji, cevovodi in tesnjenje so značilne z naslednjih značilnostih:
Ultra visoka čistost
Tesnila brez puščanja
Temperaturno nadzorovano izolacijo
Nadzor tlaka
Korozijska odpornost
Zdravljenje z elektrolitskim poliranjem
Čas objave: oktober-09-2023