Plinska industrija v polprevodniški industriji

Uporaba plinov v polprevodniški industriji sega v zgodnje petdeseta do 1960. Med postopkom izdelave polprevodnikov se plini uporabljajo predvsem za čiščenje in zaščito polprevodniških materialov, da se zagotovi njihova čistost in kakovost. Med najpogosteje uporabljenimi plini sta dušik in vodik.

Ko se je razvijala polprevodniška tehnologija in se proizvodni procesi še naprej izboljševali, se je povpraševanje po plinih povečalo. Leta 1970 se je nadaljnji razvoj tehnologije za proizvodnjo polprevodnikov, uporaba plinov v ključnih procesih, kot sta jedkanica in odlaganje tankih filmov, postopoma povečala, fluoridni plini (npr. SF6) in kisik pa so se pogosto uporabljali jedkanica in nanašanje plinov. Leta 1980 se je še povečalo povpraševanje po plinih z razvojem integriranih vezij in povečanjem povpraševanja po njih. Vodik se je pogosto uporabljal v proizvodnem procesu, vključno z žarjenjem vodika in odlaganjem hlapov vodika. In od leta 1990 do danes se je povpraševanje po visoki plini in specifičnimi plini povečalo, ko se velikosti polprevodniških naprav še naprej zmanjšujejo in so bili uvedeni novi procesi. Na primer, uporaba ekstremne ultravijolične litografije (EUV) zahteva uporabo izjemno visokih plinov, kot sta dušik in vodik.

Polprevodniški plin se še naprej povečuje z razvojem povezanih proizvodov, ki jih poganja vse več izdelkov, razkriva se, medtem ko plin spada tudi v vir nevarnosti, zato so se proizvodi, ki se uporabljajo za dekompresijo plina, izdelki za zaznavanje plina in preprečujejo izdelke za puščanje plina, na primer regulatorji tlakov, plinski ventili, merilniki tlaka na plin, itd.

Regulatorji tlaka: Regulatorji tlaka so naprave, ki se uporabljajo za nadzor tlaka plina. Običajno so sestavljeni iz regulacijskega ventila in tlačnega senzorja. Regulatorji tlaka vzamejo visokotlačni vhod plina in stabilizirajo tlak izhodnega plina s prilagoditvijo ventila, da ustreza določenim zahtevam uporabe. Regulatorji tlakov se pogosto uporabljajo na področjih, kot so industrija, proizvodnja in laboratoriji, pa tudi v polprevodniški industriji, da bi zagotovili stabilnost in varnost oskrbe s plinom.

Plinski ventili: Plinski ventili se uporabljajo za nadzor pretoka plinov in za zapiranje prehodov plina. Običajno imajo funkcijo za vklop/izklop, ki odpira ali zapre tok plina. Obstajajo različne vrste plinskih ventilov, vključno z ročnimi ventili, električnimi ventili in pnevmatskimi ventili. V plinskih sistemih se pogosto uporabljajo za nadzor pretoka, tlaka in pretoka plinov.

Merilniki tlaka plina: Za merjenje ravni tlaka plina se uporabljajo merilniki tlaka plina. Običajno so nameščeni na kritičnih lokacijah v plinskih sistemih, da spremljajo spremembe tlaka in zagotavljajo, da so v varnih mejah. Merilniki tlaka na plin se pogosto uporabljajo v industriji, proizvodnji in laboratorijih, vpletena pa je tudi v industrija polprevodnikov.

Detektorji puščanja plina: Detektorji puščanja plina se uporabljajo za odkrivanje puščanja v plinskih sistemih. ZaznajoPrisotnost puščanja plina in zvok alarma, tako da je mogoče pravočasno ukrepati, da se prepreči nesreče puščanja. Detektorji puščanja plina se pogosto uporabljajo v industrijskih, kemičnih, naftnih in plinskih uporabi, vpletena pa je tudi v industrijo polprevodnikov.