Različne kemikalije in plini, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov, zahtevajo robustne tekočine za neprekinjeno oskrbo v vsaki fazi proizvodnje. Ti tekoči sistemi morajo biti sposobni podpirati ekstremne pogoje procesa, potrebne za proizvodnjo polprevodnikov, hkrati pa zagotavljajo čist, brezskrbni in nadzorovan postopek. Zato je izbira komponent tekočega sistema ključnega pomena v procesu natančnosti polprevodnikov.
Izbira komponent visoko kakovostnega tekočega sistema je sinonim za povečano učinkovitost proizvodnje in zmanjšan izpad sistema. Glede na proces proizvodnje polprevodnikov bomo razpravljali o kritični vlogi komponent tekočega sistema in o pomembnosti njihove zanesljivosti.
Pomen komponent tekočega sistema v proizvodnji polprevodnikov
Komponente tekočega sistema v proizvodnji polprevodnikov vključujejo različne kemične mešanja, prenos in kontrolne sisteme za varno prevoz kemičnih tekočin v nadzorovanem okolju. Idealen tekoči sistem ima:
➢ Enotno kemično mešanje
➢kontaminacijski nadzor
➢temperatura in nadzor tlaka
➢UnInterrupted Chemical Dobava
Samo najvišje kakovostne komponente lahko zagotavljajo tako idealne pogoje v sistemu polprevodniških tekočin. Prednosti uporabe takšnih komponent vključujejo:
Natančno: komponente, kot so ventili, regulatorji in črpalke, delujejo v tandemu, da se zagotovi pravilen delež kemikalije v proizvodno celico. Natančni vnosi odpravljajo tveganje za spremembe pretoka, kar izboljša kakovost končnega izdelka.
Združljivost in čistoča: komponente tekočega sistema z materialnimi sestavinami, ki so združljive s procesnimi tekočinami, zmanjšujejo tveganje za kontaminacijo. Poleg tega namestitev teh komponent tekočega sistema zmanjšuje onesnaževalce delcev, kar zagotavlja čisto in nadzorovano proizvodno okolje za izboljšane donose.
Varnost: Plini in kemikalije, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov, so lahko škodljivi za zdravje ljudi. Vendar pa lahko komponente tekočega sistema, namenjene preprečevanju puščanja in razlitja, te tekočine dostavijo na proizvodne enote na varen in nadzorovan način.
Učinkovitost: gradnja brez puščanja in natančen nadzor visokokakovostnih komponent tekočega sistema zmanjšuje operativne izpade in pogoste zahteve za vzdrževanje, kar spodbuja gladko, učinkovito proizvodnjo, da doseže proizvodne cilje.
Kakovostne rešitve izdelanega tekočega sistema
Komponente tekočega sistema potrebujejo visoko kakovostne instalacije, da se spopadajo z izzivi proizvodnje polprevodnikov. Ključne komponente, ki vplivajo na Fab, vključujejo:
Ventili: visokozmogljivi ventili, kot so diafragma, meh ali igelni ventili, v idealnem primeru uravnavajo pretok tekočine v proizvodnih prostorih. Trajni, kakovostni ventili zagotavljajo natančnost in nadzor, potrebni za izboljšanje učinkovitosti proizvodnje in ravnanja s postopki za kritično proizvodnjo polprevodnikov.
Okovje: Okovje za cevi in cevi in druge kritične komponente zagotavljajo zapečatene povezave za izboljšanje varnosti in čistosti komponent tekočega sistema.
Cevi: Za zahteve za natančno proizvodnjo pomagajo izolirane cevi pri toplotnem upravljanju, tako da je mogoče optimalno vzdrževati procesne pogoje v proizvodni sobi. To je pomembno, ker lahko najmanjše nihanje temperature poškoduje čipe in vodi do proizvodnih odpadkov.
Fleksibilne cevi: Kadar pogoji omogočajo, se lahko uporabijo fleksibilne cevi za zmanjšanje števila okov v sklopu tekočega sistema. Cev je upognjena, da dobimo želeno pot tekočine. Manj okovja pomeni manjše tveganje za puščanje in poškodbe zaradi vibracij in gibanja.
Regulatorji: Regulatorji učinkovito nadzorujejo tlak v vsaki stopnji proizvodnje polprevodnikov. Stalen in natančen pretok dosega dosledne, kakovostne donose, hkrati pa se izogiba zapravljene tekočine in posebne materiale.
Filtri: En sam delček lahko vpliva na delovanje polprevodnikov. Uporaba ultra visokih filtrov čistosti odpravlja kontaminacijo delcev in zmanjša poškodbe čipov.
Učinkovitost tekočega sistema pri proizvodnji polprevodnikov je mogoče doseči s široko paleto visokokakovostnih ventilov, okov, regulatorjev, cevi in filtrov AFK-Lok.
Čas objave: oktober-09-2023