1 | Maks. delovni tlak 20,6 Mpa. |
2 | maks.delovna temperatura 204 ℃ (okolje z visoko temperaturo do 454 ℃, v tem času se tesnilni material zamenja z ekspandiranim grafitom) |
3 | Uporabljajo se filtrirni sistemi, ki onesnažujejo delce, pline, tekočine. |
4 | Natančnost filtrskega filtra iz sintranega prašnega metalurgije iz nerjavečega jekla 2 μm ~ 40 μm |
5 | Pretok filtra 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filter je možno menjati. |
Lastnosti izdelka Filter
1 | Širok obseg uporabe, razpon pretoka od 15 do 300 SL / min. |
2 | Ima dobro združljivost z večino polprevodniških procesnih plinov visoke čistosti. |
3 | Zmogljivost filtracije nanodelcev 3 ohranja visoko učinkovitost pretoka in izjemno majhen padec tlaka. |
4 | 5Ra elektropolirana površina lahko prepreči notranje onesnaženje. |
5 | Pecite z vročim dušikom po deionizirani vodi, da izpolnite standarde polprevodniškega postopka. |
6 | 1000 stopenj aseptične delavnice brez prahu za proizvodnjo, čiščenje in pakiranje. |
7 | Test za 100 % puščanje helija. |
Vhod | Izhod | |
1 | 1/8″ cevni priključek | 1/8″ cevni priključek |
2 | 1/4″ cevni priključek | 1/4″ cevni priključek |
3 | 3/8″ cevni priključek | 3/8″ cevni priključek |
4 | 1/2″ cevni priključek | 1/2″ cevni priključek |
5 | 6MM cevni priključek | 6MM cevni priključek |
6 | 8mm cevni priključek | 8mm cevni priključek |
7 | 10 mm cevni priključek | 10 mm cevni priključek |
8 | 12 mm cevni priključek | 12 mm cevni priključek |
9 | 1/8″ ženski NPT | 1/8″ ženski NPT |
10 | 1/4″ ženski NPT | 1/4″ ženski NPT |
11 | 1/4″ moški NPT | 1/4″ moški NPT |
12 | 3/8″ moški NPT | 3/8″ moški NPT |
13 | 1/2″ moški NPT | 1/2″ moški NPT |
Parametri delovanja filtra
1 | Natančnost filtriranja | ≥0,0025 μm | |
2 | Učinkovitost filtracije | Stopnja odstranitve99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Nazivni pretok | 15 L/min | |
4 | 60 L/min | ||
5 | 120L/min | ||
6 | 200L/min | ||
7 | 300L/min | ||
8 | Sestava filtra | filtrirni element | 316L/PTFE |
9 | nastanitev | nerjaveče jeklo 316L | |
10 | Delovni pogoji | Največji vstopni tlak | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Največji diferenčni tlak | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Najvišja delovna temperatura | 430 ℃(inertni plin) | |
13 | Stopnja uhajanja helija | 1×10-9 atm.cc/sek | |
14 | Površinska obdelava | ≤Ra 5 μin |